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COHERENT 高意 IndyStar 1 kHz 准分子激光器
坚固耐用的高占空比工业准分子激光器，专为 193 nm 或 248 nm 波长下高达 2 KHZ 的脉冲重复频率应用而设计。
该生产线工具具备可靠性、长使用寿命、易用性和先进的脉冲控制优势。 IndyStar 激光器广泛用于喷墨嘴钻孔、测量和光学测试。 符合 Semi-S2 标准，可用于掩膜板检测和相关应用。
INDYSTAR 关键性能指标概述
在 193 nm 或 248 nm 下运行，重复频率高达 2 kHz，功率高达 12 W。
| 型号名称 | 波长 (nm) | 脉冲频率上限 (Hz) | 脉冲能量上限 (mJ) | 功率上限 (W) |
| IndyStar 1 kHz | 193 | 1000 | 8 | 8 |
| IndyStar 2 kHz | 2000 | 4 | ||
| IndyStar 1 kHz | 248 | 1000 | 12 | 12 |
| IndyStar 2 kHz | 2000 | 6 |
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